ESOL, Inc.
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EUV(Extreme Ultra Violet) Solution Provider
주식회사 이솔은 대한민국 유일의 EUV 반도체 장비 회사로서 글로벌 톱 수준의 EUV 장비 기술을 보유하고 있습니다. 세계에서 두번째로 EUV 결함 리뷰 설비 상용화와 세계 최초 양산향 EUV 펠리클 투과율 측정장비, 세계 최초EUV 마스크 위상 측정 장비 및 EUV 간섭 패터닝 장비 개발에도 성공하였습니다. ESOL은 EUV 광원부터 EUV 광학계, 관련 S/W 및 나노 시스템에 이르는 대부분의 기술을 직접 개발 및 제작할 수 있는 역량을 보유하고 있습니다.
반도체 산업에서의 EUV 기술은 향후 수십년 동안 업계 전반에서 사용될 반도체 업계의 핵심 기술입니다. 이솔은 업계 최고 수준의 반도체 및 EUV 전문가들로 팀이 구성이 되어 있습니다. 미래에 글로벌 톱 수준의 EUV 종합 Solution 회사를 목표로 첨단 장비와 소재를 개발하고 있습니다.
Keywords
euv, euv mask, euv lithography, euv inspection, euv metrology, euv resist, euv pellicle
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